EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Waferi Piezoelectrig PZT
Gyda thwf ffrwydrol cyfathrebu 5G, meddygaeth fanwl, a dyfeisiau gwisgadwy clyfar, mae galw'r farchnad am drawsddygiaduron MEMS sensitifrwydd uchel, pŵer isel ar gynnydd. Mae ein wafferi piezoelectrig (PZT ar Si/SOI) yn defnyddio prosesau dyddodiad ffilm denau uwch i gyflawni unffurfiaeth eithriadol a phriodweddau piezoelectrig uwchraddol ar swbstradau silicon, gan wasanaethu fel y craidd sylfaenol ar gyfer trosi ynni electro-fecanyddol effeithlon.
Disgrifiad
Gwasanaethau Arfaethedig
Yn ogystal â chynnig wafferi PZT 8 modfedd safonol, rydym yn darparu galluoedd addasu helaeth wedi'u teilwra i ofynion penodol ein cleientiaid:
● Amrywiaeth Swbstrad: Rydym yn cefnogi dyddodiad ar wafferi Si a wafferi SOI (gyda gwrthedd > 5000 ohm/cm).
● Addasu Ffilm Denau: Gellir addasu mathau a thrwch ffilm denau penodol i fodloni manylebau dylunio.
● Maint Hyblyg: Rydym yn cynnig galluoedd prosesu ar gyfer fformatau wafer 6 modfedd ac 8 modfedd.
● Wafers a Gyflenwir gan y Cwsmer: Rydym yn derbyn swbstradau a ddarperir gan y cwsmer ar gyfer twf ffilm denau piezoelectrig.
Eich Partner Technegol: Rydym wedi ymrwymo i ddarparu cefnogaeth gynhwysfawr—o dwf deunydd i addasu strwythurol. P'un a ydych chi yng nghyfnod Ymchwil a Datblygu'r labordy neu yng nghyfnod cynhyrchu màs, mae ein tîm technegol yn barod i ddarparu'r atebion piezoelectrig sydd fwyaf addas i'ch anghenion.
manylebau
Mae ein cynhyrchion safonol yn cael eu cynhyrchu gan ddefnyddio prosesau 6 modfedd ac 8 modfedd, sy'n cynnwys dyluniadau strwythurol aml-haen soffistigedig sy'n sicrhau perfformiad sefydlog drwy gydol llifau gwaith gweithgynhyrchu MEMS cymhleth.
Paramedrau Strwythur Haen (Safonol 8 modfedd)
| haen | Trwch | Nodyn |
| Electrod Uchaf | addasu | Electrod Uchaf |
| Haen Piezo | addasu | Haen Piezoelectrig Craidd |
| Haen Byffer | addasu | Haen Rheoli Cyfeiriadedd Grawn |
| Electrod Gwaelod | 100 nm ± 10% | Electrod Isaf |
| Haen Gludiad | addasu | Haen Gludiad |
| Swbstrad | addasu | Dewisiadau 4/6/8 modfedd ar Gael |
Dangosyddion Perfformiad Allweddol (Nodweddion)
● Cysonyn Piezoelectrig (d31): 200 pC/N — Yn sicrhau allbwn dadleoli mecanyddol hynod effeithlon.
● Cyfernod Piezoelectrig (e31): −15 C/m² — Yn darparu ymateb gwefr drydanol hynod sensitif.
● Unffurfiaeth Uchel: Wedi'i gwirio trwy ddadansoddiad diffractiad XRD, mae'r ffilm PZT yn arddangos cyfeiriadedd cryf (100), gan sicrhau unffurfiaeth perfformiad eithriadol ar draws y wafer gyfan.
| Nodweddion PZT | PZT Polygrisial |
| cysonyn piezoelectrig d31 | 200 cC/N |
| cyfernod piezoelectrig e31 | -14 C/m² |
| Tymheredd Curie | X ℃ |
Delwedd SEM ac XRD
ceisiadau
Pum Maes Cymhwyso Allweddol
1. Trawsddygiaduron Ultrasonic Piezoelectrig (pMUT)
Defnyddio'r cysonyn piezoelectrig uchel mewn ffilmiau tenau PZT i greu araeau uwchsonig bach amledd uchel. Fe'i defnyddir yn helaeth mewn adnabod olion bysedd o dan yr arddangosfa, synhwyro ystumiau, a systemau radar uwchsonig modurol.
2. Hidlwyr RF a Chyfathrebu (RF MEMS)
Mewn systemau cyfathrebu 5G a 6G, mae deunyddiau piezoelectrig perfformiad uchel yn hanfodol ar gyfer cynhyrchu hidlwyr FBAR a SAW, gan alluogi lled band ehangach a chollfeydd mewnosod is.
3. MEMS Acwstig (Siaradwyr/Meicroffonau)
Grymuso siaradwyr MEMS gydag ymateb dros dro a Lefelau Pwysedd Sain (SPL) uwchraddol, gan hybu Cymhareb Signal-i-Sŵn (SNR) meicroffonau MEMS ar yr un pryd i alluogi cipio sain diffiniad uchel.
4. Rheoli Hylif Manwl gywir (Pennau Print Inkjet)
Gan ddefnyddio dirgryniadau cyflymder uchel yn y modd d31 i gyflawni cywirdeb lefel nanolitr wrth reoli cyfaint diferion inc; yn gwasanaethu fel y gydran weithredu graidd ar gyfer systemau argraffu incjet cydraniad uchel, gradd ddiwydiannol.
5. Estheteg Feddygol a Micro-bwmpio
Yn gyrru nebiwlyddion meddygol a phympiau uwchsonig esthetig. Gan fanteisio ar faint cryno a dibynadwyedd uchel ffilmiau tenau PZT, rydym yn galluogi atomeiddio effeithlon a chyflenwi meddyginiaethau hylifol yn fanwl gywir.
