Susceptor wafer wedi'i orchuddio â sic wedi'i addasu

Mae'r atalydd waffer wedi'i orchuddio â SiC yn gydran hanfodol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, yn enwedig mewn prosesau twf epitacsial fel MOCVD, PECVD, a CVD. Mae'n gwasanaethu fel y cludwr sefydlog sy'n cynnal wafferi o dan amgylcheddau tymheredd uchel, cyrydol, a gwactod, gan sicrhau trosglwyddo gwres unffurf a phrosesu heb halogiad. Trwy roi haen SiC CVD ar atalydd graffit purdeb uchel, mae'r atalydd yn cyfuno perfformiad thermol rhagorol â gwrthiant cemegol uwchraddol - gan ei wneud yn anhepgor ar gyfer cynhyrchu lled-ddargludyddion y genhedlaeth nesaf.

Cyfansoddiad Deunydd a Phriodweddau Ffisegol

Mae'r Susceptor Wafer SiC wedi'i Addasu gan Semixlab wedi'i gynhyrchu gan ddefnyddio dau ddeunydd craidd:

Gorchudd SiC CVD

● Caledwch eithriadol (Mohs 9+) a gwydnwch

● Purdeb uchel (>99.999%) i leihau cynhyrchu gronynnau

● Anadweithiolrwydd cemegol rhagorol yn erbyn nwyon cyrydol (HCl, NH₃, H₂, ac ati)

● Sefydlogrwydd thermol hyd at **1600°C

● Trwch cotio dwys, unffurf ar gyfer bywyd gwasanaeth hir

Susceptor Graffit Purdeb Uchel

● Dargludedd thermol uchel ar gyfer dosbarthiad tymheredd sefydlog

● Strwythur ysgafn o'i gymharu â cherameg monolithig

●Peiriannu manwl gywir i fodloni gofynion gwastadrwydd wafer llym

● Cryfder mecanyddol sefydlog o dan gylchred thermol

Mae'r priodweddau cyfunol hyn yn gwneud y susceptor wedi'i orchuddio â SiC yn gallu gwrthsefyll sioc thermol, erydiad plasma, a halogiad gronynnau yn fawr, gan sicrhau ansawdd waffer cyson.

Cymwysiadau mewn Prosesu Lled-ddargludyddion

Defnyddir y susceptor wafer wedi'i orchuddio â SiC yn helaeth mewn prosesau lled-ddargludyddion uwch, yn enwedig mewn:

●Twf Wafer Epitaxial (Gweithgynhyrchu Wafer Epi): Yn sicrhau gwresogi unffurf ac yn lleihau plygu wafer yn ystod dyddodiad epitacsial SiC, GaN, GaAs, a lled-ddargludyddion cyfansawdd eraill.

● Prosesau MOCVD a CVD: Yn darparu arwyneb sefydlog yn gemegol, purdeb uchel ar gyfer dyddodiad ffilm denau unffurf.

●Gwneuthuriad Lled-ddargludyddion LED a Phŵer: Yn cefnogi wafferi LED disgleirdeb uchel a deunyddiau bwlch band eang mewn siambrau tyfu tymheredd uchel.

● Anelio a Thryledu Tymheredd Uchel: Yn cynnal sefydlogrwydd strwythurol o dan gylchoedd thermol dro ar ôl tro wrth atal halogiad.

Drwy optimeiddio trosglwyddo gwres a chynnal cyfanrwydd yr wyneb, mae'r susceptor yn dylanwadu'n uniongyrchol ar gynnyrch wafer, unffurfiaeth a lleihau diffygion—gan ei wneud yn gydran hollbwysig mewn llinellau proses epitacsial.

Manteision Cystadleuol Semixlab

Yn Semixlab, rydym yn darparu mwy na chydrannau safonol—rydym yn darparu atebion wedi'u teilwra sy'n bodloni gofynion heriol gweithgynhyrchwyr lled-ddargludyddion:

Arbenigedd Addasu

Dylunio a chynhyrchu susceptorau mewn gwahanol feintiau, siapiau, trwch cotio a geometregau i gyd-fynd ag adweithyddion MOCVD/CVD penodol.

Deiliad Wafer wedi'i Gorchuddio â SiC

Susceptor Wafer wedi'i orchuddio â Silicon Carbide

Ymgynghoriad Technegol

Mae tîm peirianneg arbenigol yn darparu argymhellion penodol i brosesau i wella cynnyrch wafer ac ymestyn oes y susceptor.

Profi Cyflwr Eithafol

Mae pob cynnyrch yn cael profion trylwyr am sefydlogrwydd thermol, ymwrthedd cemegol, a gwydnwch mecanyddol o dan amodau proses go iawn.