Top Casglwr wedi'i Gorchuddio â SiC ar gyfer Aixtron

Gyda blynyddoedd o brofiad mewn cynhyrchu cotio TaC a chotio SiC, gall Semixlab gyflenwi ystod eang o Ben Casglwr Cotio SiC, canolfan gasglu, gwaelod casglwr ar gyfer system Aixtron. Gall Pen Casglwr Cotio SiC o ansawdd uchel ddiwallu llawer o gymwysiadau, os oes angen, ceisiwch ein gwasanaeth amserol ar-lein am Ben Casglwr Cotio Silicon Carbid. Yn ogystal â'r rhestr gynnyrch isod, gallwch hefyd addasu eich Pen Casglwr Cotio SiC unigryw eich hun yn ôl eich anghenion penodol.

Casglwr cotio SiC uchaf, casglwr cotio SiC canol, a chasglwr cotio SiC gwaelod yw'r tair cydran sylfaenol a ddefnyddir yn y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Gadewch i ni drafod pob cynnyrch ar wahân:

1. Casglwr Gorchudd SiC

Mae Pen Casglwr wedi'i Gorchuddio â Silicon Carbid SiC ar gyfer Aixtron yn chwarae rhan hanfodol yn y broses dyddodi lled-ddargludyddion. Mae'n gweithredu fel strwythur cynnal ar gyfer y deunydd a ddyddodir, gan helpu i gynnal unffurfiaeth a sefydlogrwydd yn ystod y dyddodiad. Mae hefyd yn CYNORTHWYO gyda rheolaeth thermol, gan wasgaru'r gwres a gynhyrchir yn ystod y broses yn effeithiol. Mae pen y casglwr yn sicrhau trefniant a dosbarthiad cywir y deunydd a ddyddodir, gan arwain at dwf ffilm o ansawdd uchel a chyson.

2. Canolfan Casglwr wedi'i Gorchuddio â SiC

1) Swyddogaeth tywys llif aer: Wedi'i lleoli yng nghanol y siambr adwaith, mae'r Ganolfan Casglwr wedi'i Gorchuddio â SiC yn helpu i optimeiddio dosbarthiad maes llif nwy yn y broses MOCVD, a thrwy hynny wella unffurfiaeth dyddodiad epitacsial.

2) Atal cynhyrchu gronynnau amhuredd: Y ganolfan yw'r ardal lle mae crynodiad yr adweithyddion rhagflaenol a chroniad sgil-gynhyrchion yn gymharol grynodedig. Gall defnyddio cotio SiC leihau adlyniad gwaddodion yn effeithiol a lleihau'r risg o halogiad gronynnau.

3. Gwaelod Casglwr wedi'i Gorchuddio â SiC

1) Ardal casglu gwaddodion: Wedi'i lleoli ar waelod y siambr adwaith, ei phrif swyddogaeth yw casglu rhagflaenwyr a sgil-gynhyrchion gormodol i'w hatal rhag ailgylchu neu ffurfio halogiad.

2) Cefnogaeth strwythurol a swyddogaeth amddiffyn thermol: Mae angen i'r strwythur gwaelod gario pwysau'r offer a straen thermol. Gall cryfder a sefydlogrwydd thermol SiC sicrhau na fydd yn anffurfio nac yn pilio i ffwrdd yn ystod defnydd hirdymor.

Mae'r haen SiC ar frig, canol a gwaelod y casglwr yn darparu galluoedd rheoli thermol rhagorol, gan sicrhau gwasgariad gwres effeithlon a chynnal tymereddau proses gorau posibl. Mae ganddo hefyd wrthwynebiad cemegol rhagorol, gan amddiffyn cydrannau rhag amgylcheddau cyrydol ac ymestyn eu hoes gwasanaeth. Mae priodweddau haenau SiC yn helpu i wella sefydlogrwydd prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, lleihau diffygion a gwella ansawdd ffilm.

Priodweddau ffisegol sylfaenol cotio CVD SiC

Trosolwg o gadwyn diwydiant epitacsi sglodion lled-ddargludyddion:

Siopau cynnyrch Semixlab