0200-36680 Leinin Dosbarthu Nwy Uchaf

Mae Leinin Dosbarthu Nwy Uchaf AMAT 0200-36680 yn gydran siambr cwarts manwl gywir a gynlluniwyd ar gyfer systemau dyddodiad lled-ddargludyddion Deunyddiau Cymhwysol (AMAT). Wedi'i osod o fewn rhanbarth dosbarthu nwy uchaf siambrau proses wedi'u gwella â plasma, mae'r leinin hwn yn chwarae rhan hanfodol wrth gynnal unffurfiaeth plasma, sefydlogrwydd llif nwy, cysondeb proses RF, a rheoli halogiad yn ystod gweithgynhyrchu wafferi uwch.

Wedi'i gynhyrchu o gwarts wedi'i asio purdeb uchel, mae'r gydran wedi'i pheiriannu i wrthsefyll amgylcheddau plasma ymosodol, cylchoedd thermol, a chemegau prosesau lled-ddargludyddion adweithiol a geir yn gyffredin mewn cymwysiadau PECVD a CVD.

Yn Semixlab, rydym yn darparu nwyddau traul siambr lled-ddargludyddion dibynadwy a rhannau proses manwl sy'n cefnogi gweithrediad offer sefydlog, cynnal a chadw ataliol, ac ailadroddadwyedd prosesau tymor hir ar gyfer cyfleusterau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion ledled y byd.

Gwybodaeth Sylfaenol Cynnyrch

Defnyddir y leinin AMAT 0200-36680 fel arfer fel rhan o bensaernïaeth dosbarthu nwyon y siambr y tu mewn i systemau dyddodiad plasma AMAT. Fe'i cysylltir yn gyffredin â chynulliadau dosbarthu nwyon uchaf lle mae'n rhaid rheoli nwyon proses a rhyngweithiadau plasma RF yn fanwl gywir.

Fel cydran traul sy'n wynebu plasma, mae'r leinin yn destun cronni dyddodiad, straen thermol, ac amlygiad i lanhau siambr yn ystod cylchoedd cynhyrchu lled-ddargludyddion arferol.

Strwythur a Nodweddion Cynnyrch

1. Adeiladu Cwarts Purdeb Uchel

Mae Leinin Dosbarthu Nwy Uchaf AMAT 0200-36680 wedi'i gynhyrchu o ddeunydd cwarts wedi'i asio purdeb uwch-uchel a ddewiswyd yn benodol ar gyfer amgylcheddau prosesu plasma lled-ddargludyddion.

Defnyddir cwarts yn helaeth mewn siambrau dyddodiad lled-ddargludyddion oherwydd ei fod yn darparu:

● Gwrthiant plasma rhagorol

● Risg halogiad metelaidd isel

● Sefydlogrwydd thermol uchel

● Inswleiddio dielectrig uwchraddol

● Tryloywder RF cryf

● Cydnawsedd â chemegau siambr adweithiol

Mae'r nodweddion deunydd hyn yn hanfodol ar gyfer cynnal amodau proses sefydlog yn ystod gweithgynhyrchu wafers cyfaint uchel.

2. Geometreg Siâp Cylch Manwl

Fel y dangosir yn ddelwedd y cynnyrch, mae gan y leinin strwythur cylch crwn wedi'i beiriannu'n fanwl gywir wedi'i gynllunio i'w integreiddio o fewn cynulliad dosbarthu nwy'r siambr.

Mae'r geometreg wedi'i pheiriannu i gefnogi:

● Trylediad nwy proses unffurf

● Ffurfiant ffin plasma sefydlog

● Dosbarthiad maes RF dan reolaeth

● Dynameg llif siambr gyson

● Perfformiad proses ymyl wafer wedi'i optimeiddio

Mae cywirdeb dimensiynol caledwedd siambr cwarts yn hynod bwysig mewn offer lled-ddargludyddion oherwydd gall hyd yn oed gwyriadau geometrig bach ddylanwadu ar gymesuredd plasma ac unffurfiaeth dyddodiad ffilm.

3. Dyluniad Arwyneb sy'n Wynebu Plasma

Mae'r leinin dosbarthu nwy uchaf yn gweithredu'n uniongyrchol o fewn y rhanbarth prosesu plasma ac mae'n agored yn barhaus i:

● Radicalau plasma adweithiol

● Sgil-gynhyrchion dyddodiad

● Ynni RF

● Nwyon glanhau siambr

● Cylchoedd proses tymheredd uchel

Er mwyn cefnogi sefydlogrwydd hirdymor y siambr, mae wyneb y leinin wedi'i gynllunio i leihau:

● Cynhyrchu gronynnau

● Erydiad arwyneb

● Ansefydlogrwydd plasma

● Naddion dyddodiad

● Trosglwyddo halogiad

Mae ei arwyneb cwarts llyfn hefyd yn helpu i wella glendid y siambr ac ailadroddadwyedd prosesau yn ystod rhediadau cynhyrchu estynedig.

4. Wedi'i beiriannu ar gyfer Sefydlogrwydd Proses Lled-ddargludyddion

Yn wahanol i gydrannau cwarts diwydiannol confensiynol, rhaid i leininau siambr lled-ddargludyddion gynnal cydnawsedd proses llym o dan amodau gweithgynhyrchu sydd wedi'u rheoli'n ofalus.

Mae leinin AMAT 0200-36680 wedi'i beiriannu i gefnogi:

● Perfformiad proses PECVD sefydlog

● Nodweddion tanio plasma cyson

● Amser preswylio nwy dan reolaeth

● Llai o ddrifft siambr

● Ailadroddadwyedd wafer-i-wafer gwell

Mae'r ffactorau hyn yn hanfodol mewn amgylcheddau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion uwch lle mae unffurfiaeth prosesau yn effeithio'n uniongyrchol ar gynnyrch a pherfformiad dyfeisiau.

Mae Leinin Dosbarthu Nwy Uchaf AMAT 0200-36680 yn gydran siambr cwarts purdeb uchel a gynlluniwyd ar gyfer systemau prosesu PECVD a CVD lled-ddargludyddion. Mae ei strwythur wedi'i beiriannu'n fanwl gywir yn cefnogi sefydlogrwydd dosbarthu nwy, rheolaeth plasma, cysondeb RF, a lleihau halogiad o fewn siambrau dyddodiad uwch.

Fel deunydd traul hanfodol sy'n wynebu plasma, mae'r leinin cwarts hwn yn chwarae rhan bwysig wrth gynnal ailadroddadwyedd siambr, unffurfiaeth prosesau, a dibynadwyedd gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion.

Mae Semixlab yn darparu rhannau sbâr lled-ddargludyddion proffesiynol a nwyddau traul siambr i gefnogi gweithrediadau gweithgynhyrchu wafers uwch a chynnal a chadw offer ledled y byd.