Modrwy Cwarts 150mm

Fel cydran sy'n agored i plasma, mae'r cylch cwarts wedi'i gynllunio i weithredu mewn amgylcheddau ynni uchel wrth gynnal sefydlogrwydd strwythurol a chysondeb prosesau.

Gwybodaeth Cynnyrch Allweddol

Deunydd a Manteision

Mae Cylch Cwarts AMAT 150mm wedi'i gynhyrchu o gwarts wedi'i asio gradd lled-ddargludyddion (SiO₂), deunydd sy'n cael ei gydnabod yn eang am ei berfformiad rhagorol mewn amgylcheddau prosesu plasma.

Manteision Allweddol Cwarts Wedi'i Ymasu:

Halogiad Ultra-Isel

Mae cwarts purdeb uchel yn cynnwys lefelau isel iawn o amhureddau metelaidd, gan leihau'r risg o halogiad wafer a chefnogi safonau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion uwch.

Gwrthiant Plasma Rhagorol

Mae cwarts yn cynnig ymwrthedd cryf i fomio ïonau ac erydiad plasma, gan ei wneud yn addas i'w ddefnyddio'n hirdymor mewn siambrau ysgythru a plasma.

Sefydlogrwydd Thermol Uchel

Mae'r deunydd yn cynnal ei gyfanrwydd strwythurol o dan dymheredd uchel a chylchred thermol cyflym, gan sicrhau perfformiad cyson yn ystod y prosesu.

Inswleiddio Trydanol

Fel deunydd nad yw'n dargludol, mae cwarts yn helpu i sefydlogi'r maes trydan o fewn y siambr, gan gyfrannu at ddosbarthiad plasma unffurf.

Inertness Cemegol

Mae cwarts yn gallu gwrthsefyll nwyon adweithiol a ddefnyddir mewn prosesau lled-ddargludyddion, gan leihau dirywiad ac ymestyn oes cydrannau.

Mae'r priodweddau hyn yn gwneud cwarts wedi'i asio yn ddeunydd delfrydol ar gyfer cydrannau siambr sy'n agored i plasma ac amodau tymheredd uchel.

Swyddogaeth Y Tu Mewn i Offer Lled-ddargludyddion

Mae Cylch Cwarts AMAT 150mm yn cyflawni sawl swyddogaeth hanfodol y tu mewn i siambrau prosesu plasma, gan effeithio'n uniongyrchol ar sefydlogrwydd prosesau ac ansawdd wafferi.

1. Cyfyngu a Rheoli Plasma

Mae'r cylch cwarts yn helpu i ddiffinio rhanbarth ffin y plasma, gan reoli dosbarthiad ïonau a sefydlogi ymddygiad y plasma o fewn y siambr. Mae hyn yn cyfrannu at amodau proses ailadroddadwy a chyson.

2. Optimeiddio Unffurfiaeth Ymyl

Wedi'i leoli ger ymyl y wafer, mae'r fodrwy'n chwarae rhan bwysig yn:

● Rheoleiddio dwysedd plasma ar berimedr y wafer

● Lleihau effeithiau ymyl

● Gwella unffurfiaeth ysgythru neu ddyddodiad

Mae hyn yn hanfodol ar gyfer cynnal rheolaeth ar y dimensiwn critigol (CD) a chynnyrch cyffredinol y wafer.

3. Diogelu'r Siambr

Fel cydran aberthol, mae'r cylch cwarts yn amsugno:

● Deunyddiau wedi'u chwistrellu

● Sgil-gynhyrchion ysgythru

● Amlygiad plasma

Mae hyn yn helpu i amddiffyn cydrannau siambr hanfodol fel waliau metel, leininau, a chuciau electrostatig rhag difrod a halogiad.

4. Gwella Sefydlogrwydd Prosesau

Drwy gynnal geometreg a phriodweddau deunydd cyson, mae'r cylch cwarts yn cefnogi:

● Patrymau llif nwy sefydlog

● Rhyngweithio plasma rheoledig

● Cynhyrchu llai o ronynnau

Yn y pen draw, mae hyn yn arwain at ailadroddadwyedd prosesau gwell a llai o amser segur.