0200-10243 Cylch Cysgod 150mm

1. Trosolwg o'r Cynnyrch

Mae'r AMAT 0200-10243 Shadow Ring 150mm yn gydran traul cwarts manwl gywirdeb uchel a gynlluniwyd i'w defnyddio mewn systemau prosesu lled-ddargludyddion 150mm, yn enwedig mewn siambrau ysgythru a CVD.

Wedi'i gynhyrchu o gwarts wedi'i asio purdeb uchel, mae'r fodrwy gysgod hon wedi'i pheiriannu i wrthsefyll amgylcheddau plasma llym wrth gynnal sefydlogrwydd dimensiynol a lefelau halogiad isel. Mae wedi'i chynllunio'n benodol i ffitio llwyfannau Applied Materials, gan sicrhau cydnawsedd ac integreiddio prosesau dibynadwy.

Yn Semixlab Technology, rydym yn darparu modrwyau cysgod newydd o ansawdd uchel gyda rheolaeth lem dros burdeb deunydd, cywirdeb peiriannu, a gorffeniad arwyneb i fodloni gofynion llym gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion uwch.

2. Swydd mewn Offer a Rôl Swyddogaethol

Mae'r cylch cysgod wedi'i osod o amgylch perimedr allanol y wafer y tu mewn i'r siambr brosesu, gan ffurfio rhyngwyneb hanfodol rhwng ymyl y wafer a'r amgylchedd plasma cyfagos.

Lleoliad nodweddiadol:

● Amgylchynu'r wafer ar y chuck electrostatig (ESC) neu'r susceptor

● Wedi'i leoli o fewn parth amlygiad plasma

● Wedi'i leoli rhwng ymyl y wafer a wal y siambr

Rôl swyddogaethol yn y system:

● Yn gweithredu fel haen ffiniol ffisegol a phrosesol

● Yn dylanwadu ar ddosbarthiad plasma ac ymddygiad maes trydan ymyl

● Yn gwasanaethu fel cydran amddiffyn aberthol yn erbyn amlygiad uniongyrchol i plasma

Mewn offer lled-ddargludyddion uwch, gall hyd yn oed amrywiadau bach mewn amodau ymyl effeithio'n sylweddol ar berfformiad prosesau cyffredinol, gan wneud y cylch cysgod yn elfen allweddol mewn pensaernïaeth rheoli prosesau.

3. Swyddogaethau Craidd ac Effaith Prosesau

Mae Cylch Cysgodol AMAT 0200-10243 yn chwarae rhan hanfodol wrth sicrhau unffurfiaeth prosesau, sefydlogrwydd cynnyrch, a rheoli halogiad.

Amddiffyn Ymyl

● Yn amddiffyn ymylon wafer rhag bomio plasma uniongyrchol

● Yn lleihau difrod i ymylon, rhicio, a phroffiliau ysgythru annormal

Optimeiddio Dosbarthu Plasma

● Modiwleiddio dwysedd plasma lleol ger ymyl y wafer

● Yn atal gor-ysgythru ymyl neu ddyddodiad gormodol

Gwella Unffurfiaeth

● Yn gwella cyfradd ysgythru a chysondeb trwch ffilm ar draws y wafer

● Yn lleihau parthau gwaharddedig ymyl

Rheoli Halogiad

● Yn dal sgil-gynhyrchion a gronynnau proses

● Yn lleihau'r risg o halogiad yn cyrraedd arwynebau wafer gweithredol

Sefydlogrwydd Proses

● Cynnal amodau proses ailadroddadwy ar draws cylchoedd lluosog

● Yn cefnogi rheolaeth dynnach dros briodweddau CD (dimensiwn critigol) a ffilm

4. Dulliau Methiant Nodweddiadol ac Ystyriaethau Amnewid

Oherwydd amlygiad parhaus i plasma, tymereddau uchel, a nwyon adweithiol, mae cylchoedd cysgod yn destun dirywiad graddol. Mae deall mecanweithiau methiant yn hanfodol ar gyfer cynnal sefydlogrwydd prosesau.

Moddau Methiant Cyffredin:

① Erydiad Plasma

Colli deunydd arwyneb a achosir gan fomio ïonau

Yn arwain at newidiadau dimensiynol ac ymddygiad plasma wedi'i newid

② Cyrydiad Cemegol

Adwaith â nwyon ymosodol (e.e. cemegau sy'n seiliedig ar fflworin)

Yn arwain at arweiddio arwyneb a gwanhau strwythurol

③ Cynhyrchu Gronynnau

Gall micro-graciau neu ddirywiad arwyneb ryddhau gronynnau

Yn cynyddu'r risg o halogiad ac yn lleihau cynnyrch

④ Cronni Dyddodiad

Cronni sgil-gynhyrchion proses (e.e. gweddillion polymer)

Yn newid amodau proses lleol a dosbarthiad plasma

⑤ Straen Thermol a Chracio

Gall cylchu thermol dro ar ôl tro achosi microdoriadau

Yn peryglu uniondeb mecanyddol dros amser

Effaith Methiant:

● Mwy o halogiad gronynnau

● Amrywiad CD ymyl ac anghysondeb

● Cynnyrch wafer wedi'i leihau

● Drifft proses a llai o ailadroddadwyedd

● Amlder cynnal a chadw siambr cynyddol

Yn Semixlab Technology, rydym yn mynd i'r afael â'r heriau hyn drwy:

● Dewis deunydd cwarts purdeb uchel ar gyfer llai o halogiad

● Peiriannu manwl gywir ar gyfer goddefgarwch dimensiynol tynn

● Triniaeth arwyneb wedi'i optimeiddio i wella ymwrthedd plasma

● Datrysiadau cotio uwch dewisol (e.e. cotio SiC) ar gyfer oes estynedig a chynhyrchu llai o ronynnau

Chwilio am ddewis arall dibynadwy neu uwchraddiad perfformiad?

Mae Technoleg Semixlab yn cynnig atebion cylch cysgod wedi'u peiriannu ac opsiynau cotio uwch wedi'u teilwra i ofynion penodol eich proses. Cysylltwch â ni heddiw i wneud y gorau o berfformiad eich proses lled-ddargludyddion.