EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Baffl Llif Cwarts Lled-ddargludyddion
Mae Baffl Llif Cwarts Lled-ddargludyddion Semixlab yn gydran a beiriannwyd yn fanwl gywir ac a ddyluniwyd i reoleiddio a homogeneiddio llif nwy y tu mewn i ffwrneisi CVD, LPCVD, PECVD, trylediad ac ocsidiad. Wedi'i gynhyrchu o gwarts wedi'i asio purdeb uwch-uchel (SiO₂, ≥99.99%), mae'n sicrhau tymheredd a dosbarthiad nwy sefydlog yn ystod prosesu wafferi, gan leihau anghydffurfiaeth ffilm, halogiad gronynnau a gor-ddyfodiad lleol yn effeithiol. Mae ei dryloywder optegol uchel, ei wrthwynebiad thermol eithriadol a'i natur ddi-halogiad yn ei gwneud yn gydran anhepgor mewn offer epitacsi lled-ddargludyddion a SiC/GaN uwch.
Disgrifiad
Ⅰ. Nodweddion Deunydd ac Arwyneb
● Deunydd: Silica wedi'i asio purdeb uchel (cwarts synthetig neu naturiol, purdeb ≥99.99%).
● Gwrthiant Thermol: Perfformiad sefydlog ar dymheredd parhaus hyd at 1200°C.
● Gorffeniad Arwyneb: Arwynebau wedi'u sgleinio'n fanwl iawn i atal gronynnau rhag glynu.
● Ehangu Thermol: Mae cyfernod ehangu isel (5.5 × 10⁻⁷/°C) yn sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol.
● Gwrthiant Cemegol: Anadweithiol i nwyon cyrydol fel HCl, NH₃, a SiH₄.
Mae pob baffl llif yn cael ei archwilio'n drylwyr am ansawdd yr wyneb, cywirdeb dimensiynol, a rheolaeth swigod fewnol, gan sicrhau purdeb a dibynadwyedd cyson ym mhob swp cynhyrchu.
Ⅱ. Swyddogaethau Allweddol mewn Prosesau Lled-ddargludyddion
Mae'r Baffl Llif Cwarts yn gwasanaethu fel cydran rheoli llif a rheoleiddio thermol craidd y tu mewn i siambrau prosesu lled-ddargludyddion tymheredd uchel. Mae ei swyddogaeth yn mynd ymhell y tu hwnt i gyfeirio nwyon yn unig—mae'n chwarae rhan amlswyddogaethol wrth sefydlogi'r amgylchedd prosesu, gwella defnydd deunyddiau, a sicrhau unffurfiaeth o wafer i wafer.
1. Dosbarthiad Llif Nwy Unffurf
Mewn prosesau fel LPCVD, PECVD, ac epitacsi, mae cyflenwi nwy unffurf yn hanfodol i sicrhau twf ffilm denau cyson a dosbarthiad dopant. Mae geometreg a beiriannwyd yn ofalus gan y baffl llif cwarts - gan gynnwys ei sianeli llif onglog, crymedd gwyro, a bylchau wedi'u optimeiddio - yn sicrhau bod nwyon adweithiol yn cael eu gwasgaru'n gyfartal ar draws wyneb y wafer. Trwy gynnal patrwm llif laminar, mae'r baffl llif yn sicrhau bod pob wafer o fewn swp yn profi amodau amlygiad nwy union yr un fath, a thrwy hynny'n gwella sefydlogrwydd cynnyrch a chysondeb dyfais.
2. Sefydlogi Maes Thermol a Chydbwysedd Trosglwyddo Gwres
Yn ystod prosesau tymheredd uchel fel ocsideiddio thermol neu dwf epitacsial Si, gall hyd yn oed amrywiadau bach yn y dosbarthiad tymheredd arwain at ddiffygion crisial, dadleoliadau, neu straen ffilm.
Mae'r baffl llif cwarts yn gweithredu fel cymedrolwr thermol:
● Yn llyfnhau graddiannau tymheredd rhwng canol ac ymyl y cwch wafer
● Yn lleihau anghydbwysedd gwres ymbelydrol o fewn y ffwrnais
● Yn lleihau sioc thermol yn ystod cylchoedd cynyddu a gostwng tymheredd
3. Atal Halogiad a Phurdeb Proses
Mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae rheoli halogiad yn hollbwysig. Gall halogiad metelaidd neu ronynnol ddirywio cynnyrch dyfeisiau'n ddifrifol. Nid yw'r Baffl Llif Cwarts, wedi'i wneud o silica asid synthetig pur iawn (SiO₂ ≥ 99.99%), yn cyflwyno unrhyw ïonau metelaidd na gweddillion carbon i'r siambr brosesu. Mae ei arwyneb llyfn, di-fandyllog yn atal cronni sgil-gynhyrchion adwaith a gollwng gronynnau. Mae hyn yn sicrhau sefydlogrwydd gradd ystafell lân ar gyfer prosesau hanfodol fel ffurfio ocsid giât, dopio trylediad, a dyddodiad dielectrig CVD.
Nid dim ond cydran oddefol yw Baffl Llif Cwarts Semixlab, mae'n alluogwr hanfodol ar gyfer sefydlogrwydd prosesau, unffurfiaeth nwyon, ac optimeiddio cynnyrch. Trwy ei ddyluniad deinameg llif uwch, cydbwyso thermol, a chyfansoddiad deunydd hynod lân, mae'n sicrhau bod pob wafer yn derbyn amgylchedd proses a reolir yn fanwl gywir - sy'n hanfodol ar gyfer cynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion y genhedlaeth nesaf.
Ein Gwasanaethau
Siop Cynnyrch Semixlab
