EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Disg Ceramig Mandyllog Silicon Carbide Sic
Mae'r Ddisg Ceramig Mandyllog Silicon Carbid (SiC) gan Semixlab wedi'i chynllunio ar gyfer cymwysiadau prosesu wafferi lled-ddargludyddion perfformiad uchel sy'n galw am gywirdeb, purdeb a gwydnwch. Gyda micro-fandyllogrwydd rheoledig, dargludedd thermol uwchraddol ac anadweithioldeb cemegol, mae'r gydran hon yn chwarae rhan hanfodol mewn systemau gwactod, CMP (Sgleinio Mecanyddol Cemegol), epitacsi a thrin wafferi.
Disgrifiad
Yn ddelfrydol ar gyfer: llwyfannau CMP, adweithyddion epitacsi MOCVD, modiwlau trosglwyddo wafer, systemau glanhau plasma, a chynulliadau swbstrad ESC.
Ⅰ. Cyfansoddiad Deunydd a Nodweddion Ffisegol
Strwythur Ceramig SiC Purdeb Uchel
Wedi'i grefftio o bowdrau α-SiC neu β-SiC pur iawn ≥99.9%, mae pob disg mandyllog yn cael ei chynhyrchu trwy brosesau sinteru a threiddio a reolir yn fanwl gywir. Y canlyniad yw rhwydwaith mandyllau unffurf sy'n sicrhau llif nwy sefydlog a chyfanrwydd mecanyddol o dan amgylcheddau prosesu eithafol.
Priodweddau Technegol Allweddol:
| Eiddo | Manyleb |
| Deunydd | α-SiC / β-SiC |
| Purdeb | ≥ 99.9% |
| mandylledd | 10–40% (addasadwy) |
| Maint mandwll | 0.1–10μm |
| Dargludedd thermol | 120–200 W/m·K |
| Uchafswm y Tymheredd Gweithredu | 1600-1800 ° C |
| Caledwch | Mohs 9.3 |
| Gwrthiant Cemegol | Rhagorol mewn HF, HCl, Cl₂, H₂ |
| Dwysedd | 2.8–3.1 g/cm³ |
Uchafbwyntiau Perfformiad:
● Athreiddedd Gwactod Unffurf: Mae dosbarthiad mandwll manwl gywir yn sicrhau llif nwy cytbwys ar draws wyneb y wafer.
● Sefydlogrwydd Thermol Rhagorol: Yn cynnal uniondeb mecanyddol o dan gylchred tymheredd uchel.
● Cynhyrchu Gronynnau Isel: Mae arwynebau SiC wedi'u sgleinio yn lleihau'r risg o halogiad.
● Gwydnwch Rhagorol: Bywyd gwasanaeth estynedig hyd yn oed mewn amgylcheddau cemegol a plasma ymosodol.
Ⅱ. Heriau Prosesau Cyffredin ac Atebion Semixlab
| Herio | Achos Gwreiddiau | Datrysiadau Semixlab |
| Sugno Gwactod Anwastad | Maint mandwll anghyfartal neu glocsio | Dosbarthiad maint mandwll rheoledig a glanhau plasma cyfnodol |
| Halogiad Gronynnau | Micro-graciau o gylchu thermol | Rhoi cotio SiC CVD ar waith i gryfhau'r wyneb |
| Anghysondeb Thermol | Dwysedd anwastad neu halogiad | Defnyddiwch SiC dargludedd uchel (>150 W/m`K) ac arwynebau wedi'u sgleinio |
| Erydiad Cemegol | Amlygiad hirfaith i nwyon sy'n seiliedig ar HF neu Cl | Mabwysiadu sinteru hybrid CVD SiC dwys i wella ymwrthedd cyrydiad |
| Cryfder Mecanyddol Llai Dros Amser | Straen llwytho wafer dro ar ôl tro | Treiddiad eilaidd i wella caledwch torri ac ymestyn oes gwasanaeth |
Mae rheolaeth ddeunyddiau a pheirianneg arwyneb perchnogol Semixlab yn sicrhau perfformiad cyson, dibynadwyedd hirdymor, a llai o amser segur offer ar draws cylchoedd proses lluosog. Croeso i chi ymgynghori â ni am ymgynghoriad technegol pellach a gwasanaethau addasu cynnyrch.
ceisiadau
Cymwysiadau mewn Prosesau Lled-ddargludyddion
1. Taflu a Thrin Gwactod Wafer
Defnyddir disgiau SiC mandyllog yn helaeth fel platiau chuck gwactod neu gefnogaeth cludwr mewn systemau llwytho a throsglwyddo wafers. Mae eu mandylledd wedi'i beiriannu'n fanwl gywir yn sicrhau sugno gwactod unffurf, gan ddileu anffurfiad wafer a gwella cywirdeb aliniad.
2. Sgleinio Cemegol Mecanyddol (CMP)
Yn ystod CMP, mae'r ddisg SiC mandyllog yn gwasanaethu fel cludwr neu blât cefn, gan alluogi:
● Dosbarthiad slyri cyfartal
● Cefnogaeth wafer sefydlog
● Gwell gwastadrwydd a rheolaeth diffygion
O'i gymharu ag alwmina neu gwarts confensiynol, mae SiC yn cynnig caledwch a dargludedd thermol uwch, gan sicrhau oes hirach a chysondeb proses gwell.
3. Epitacsi a Phrosesu Tymheredd Uchel
Mewn adweithyddion epitacsial MOCVD ac LPE, mae'r ddisg mandyllog SiC yn gweithredu fel sylfaen neu blatfform cymorth ar gyfer susceptor thermol, gan sicrhau:
● Trosglwyddo gwres unffurf ar draws y wafer
● Trwch haen epitacsial sefydlog
● Gwrthiant uchel i nwyon proses adweithiol
4. Systemau Glanhau Gwlyb a Plasma
Diolch i'w wrthwynebiad i gyrydiad cemegol a plasma, mae'r ddisg SiC mandyllog yn perfformio'n effeithiol fel plât trylediad nwy neu swbstrad hidlo cemegol mewn meinciau gwlyb a siambrau glanhau.
5. Haen Sylfaen ESC (Chuck Electrostatig)
Mewn camau wafer uwch, mae cerameg SiC mandyllog yn gweithredu fel seiliau thermol ar gyfer ESCs, gan gyfuno trosglwyddo gwres rhagorol ac inswleiddio trydanol ar gyfer rheoli tymheredd wafer yn fanwl gywir.
Ein Gwasanaethau
Siop Cynnyrch Semixlab
