Cylch Ffocws SiC Solet

Mae'r Fodrwy Ffocwsio SiC Solet yn gydran gyswllt plasma hanfodol sydd wedi'i pheiriannu ar gyfer prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion uwch. Yn y prosesau hyn, mae rheolaeth fanwl gywir ar ddosbarthiad plasma, unffurfiaeth prosesau, a sefydlogrwydd y siambr yn hollbwysig. O fewn offer ysgythru a dyddodiad sych modern, mae perfformiad cydrannau rheoli ymyl wafer yn cael effaith uniongyrchol a mesuradwy ar ailadroddadwyedd prosesau, cynnyrch, ac amser gweithredu offer. Mae Fodrwy Ffocwsio SiC Solet Semixlab yn cyfuno purdeb, uniondeb strwythurol, a gwrthiant cyrydiad plasma hirdymor deunydd SiC i fodloni'r gofynion llym hyn.

Mewn prosesau ysgythru Plasma Cypledig Anwythol (ICP) a Plasma Cypledig Cynhwysedd (CCP), mae'r cylch ffocysu wedi'i leoli o amgylch ymyl y wafer i ddiffinio a sefydlogi ffin y plasma. Ei brif swyddogaeth yw rheoleiddio'r maes trydan lleol a dwysedd y plasma ger ymyl y wafer, a thrwy hynny liniaru effeithiau ymyl a allai achosi anghydffurfiaeth cyfradd ysgythru, ystumio proffil, neu amrywiad dimensiwn critigol. Trwy gynnal rhyngweithio plasma cyson ag arwyneb y wafer, mae'r cylch ffocysu silicon carbid solet yn gwella unffurfiaeth o'r canol i'r ymyl.

Diagram gweithio cylch ffocws ysgythru sic solid

Mewn prosesau dyddodiad PECVD ac ALD, mae trwch ffilm unffurf a chysondeb cyfansoddiad yn hanfodol. Mae Cylchoedd Canolbwyntio SiC Solet yn chwarae rhan yr un mor hanfodol wrth lunio'r amgylchedd adwaith ar ymyl y wafer. Maent yn helpu i reoli dosbarthiad rhywogaethau adweithiol ac egni plasma, lleihau gor-ddyfodiad ymyl, a lleihau anhomogeneiddrwydd ffilm a achosir gan ehangu plasma heb ei reoli.

O'i gymharu â datrysiadau traddodiadol sy'n defnyddio swbstradau cwarts, alwmina, neu graffit, mae Cerameg SiC Solet yn cynnig manteision amlwg. Mae carbid silicon solet yn arddangos ymwrthedd cyrydiad eithriadol yn erbyn cemegau plasma sy'n seiliedig ar fflworin a chlorin, sefydlogrwydd thermol rhagorol yn ystod gweithrediad pŵer uchel parhaus, a microstrwythur trwchus sy'n lleihau cynhyrchu gronynnau yn sylweddol. Mae'r priodweddau hyn yn galluogi'r cylch ffocysu i gynnal perfformiad trydanol a mecanyddol sefydlog dros gylchoedd oes estynedig, a thrwy hynny leihau risgiau halogiad siambr a lleihau drifft proses sy'n gysylltiedig â gwisgo cydrannau.

Gan fanteisio ar arbenigedd dwfn Semixlab a'i thechnoleg arloesol mewn prosesu cerameg uwch, mae ein modrwyau ffocysu SiC Solet yn darparu perfformiad cyson yn yr amgylcheddau plasma mwyaf heriol. Drwy ymestyn oes cydrannau, lleihau amlder cynnal a chadw, a chynnal amodau plasma sefydlog, mae gweithgynhyrchwyr lled-ddargludyddion yn cyflawni cynnyrch uwch, mwy o ddefnydd o offer, a chostau cynhyrchu is. Cysylltwch â ni am ymgynghoriad technegol uwch ac atebion cynnyrch wedi'u teilwra i'ch prosesau ysgythru lled-ddargludyddion a phrosesau dyddodiad PECVD/ALD.