Serameg SiC

Defnyddir cerameg SiC fwyfwy mewn offer lled-ddargludyddion, yn bennaf oherwydd eu bod yn para'n well mewn amodau anoddach. Pan fydd y tymheredd yn codi neu pan fydd y broses yn mynd yn fwy ymosodol, gall deunyddiau fel cwarts neu silicon ddechrau dangos terfynau, a dyna lle mae SiC fel arfer yn dod i rym. Mewn prosesau ffwrnais fel ocsideiddio neu drylediad, mae rhannau fel cychod wafer neu badlau wedi'u gwneud o SiC yn tueddu i bara'n hirach. Maent yn cadw eu siâp ac nid ydynt yn dod â llawer o halogiad i mewn, hyd yn oed ar ôl rhediadau hir. Yn aml, mae pobl yn newid o gwarts am y rheswm hwn, yn enwedig pan fydd cynnal a chadw'n dod yn rhy aml.

Ar gyfer ysgythru, dewisir SiC yn aml oherwydd ei fod yn goroesi plasma yn hirach. Mae'r gwahaniaeth oes o'i gymharu â rhannau silicon yn amlwg mewn llawer o osodiadau, er ei fod yn dal i ddibynnu ar y broses union. Mae hefyd yn helpu ychydig gyda rheoli gronynnau, sy'n dod yn fwy sensitif wrth i nodau grebachu. Fe welwch SiC hefyd yn cael ei ddefnyddio fel derbynyddion mewn MOCVD neu CVD. Yn yr achosion hynny, mae'n llai am "gryfder" a mwy am gadw ymddygiad tymheredd yn sefydlog. Y tu allan i hynny, mae'n ymddangos mewn rhannau siambr fel leininau neu bennau cawod, ac weithiau wrth drin cydrannau hefyd.