Gorchudd CVD Silicon Carbide (SiC).

Yn y bôn, haen silicon carbid wedi'i dyddodi ar graffit yw cotio CVD SiC, ac fe'i defnyddir yn helaeth mewn offer epitacsi lle mae tymheredd a glendid yn bwysig. Mewn llinellau cynhyrchu go iawn, fe'i gwelwch yn aml mewn systemau o AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, yn ogystal â rhai llwyfannau sy'n gysylltiedig ag AMAT. Yr hyn sy'n ei gwneud yn ddefnyddiol yw nid yn unig y gwrthiant tymheredd, ond y sefydlogrwydd cyffredinol yn ystod rhediadau hir. O dan amodau epitacsi nodweddiadol - hydrogen, amonia, neu hyd yn oed nwyon clorinedig - mae'r cotio'n aros yn gymharol sefydlog ac yn amddiffyn y graffit oddi tano. Mae hynny'n helpu i gadw'r maes thermol yn fwy cyson ac yn lleihau'r siawns y bydd gronynnau'n ymddangos yn ystod twf.

Y rhan fwyaf o'r amser, mae'r cotio yn cael ei roi ar rannau fel susceptors, cludwyr wafferi, modrwyau graffit, neu gydrannau hanner lleuad. Mae'r rhain i gyd yn ymwneud yn uniongyrchol â gwresogi neu osod wafferi, felly gall unrhyw ansefydlogrwydd bach effeithio ar y cynnyrch. Am y rheswm hwnnw, mae rhannau wedi'u gorchuddio yn aml yn cael eu trin fel nwyddau traul sydd angen bod yn ddibynadwy dros gylchoedd lluosog o hyd, yn enwedig mewn cynhyrchu 4 i 12 modfedd.