Susceptor Planedau wedi'i Gorchuddio â SiC

Mae Susceptor Planedau wedi'i orchuddio â SiC Semixlab wedi'i beiriannu ar gyfer epitacsi lled-ddargludyddion y genhedlaeth nesaf a phrosesu thermol CVD, lle mae unffurfiaeth thermol, twf di-ddiffygion, a sefydlogrwydd siambr hirdymor yn hanfodol i gynnyrch y ddyfais. Mae'r cludwr hwn wedi'i gynllunio'n benodol ar gyfer amgylcheddau tymheredd uchel sy'n fwy na 1500°C a'r cemeg nwy gymhleth a geir yn gyffredin mewn systemau epitacsiaidd silicon, SiC, a GaN. Mae'r cotio SiC perchnogol yn darparu haen amddiffynnol dwys, purdeb uchel sy'n atal halogiad ac yn sicrhau gweithrediad sefydlog, cylch hir mewn ffatrïoedd cynhyrchu heriol.

Mewn prosesau epitacsial lled-ddargludyddion fel twf Si, SiC, a GaN, mae cludwyr waffer planedol yn gwasanaethu fel y platfform mecanyddol a thermol craidd ar gyfer cludo wafferi i'r parth adwaith. Mae eu dargludedd thermol wedi'i optimeiddio yn galluogi dosbarthiad tymheredd manwl gywir, tra bod y system cylchdroi planedol yn sicrhau unffurfiaeth mewn cyfraddau twf, ymgorffori dopant, ac ansawdd crisial ar draws wafferi lluosog. Mewn gweithgynhyrchu dyfeisiau pŵer SiC, mae hyd yn oed amrywiadau tymheredd swbstrad o ±1-2% yn effeithio ar ddwysedd dadleoliad plân sylfaenol a pherfformiad dyfeisiau. Mae'r unffurfiaeth thermol gwell a ddarperir gan gludwyr waffer planedol wedi'u gorchuddio â SiC yn helpu ffabrigau i leihau dwysedd diffygion, gwella unffurfiaeth trwch, a chynyddu cynnyrch swp-i-swp.

Y tu hwnt i brosesau epitacsial, mae'r susceptor hwn hefyd yn hanfodol mewn prosesau trylediad dyddodiad anwedd cemegol ac anelio thermol, gan wasanaethu fel rhyngwyneb thermol sefydlog rhwng y ffynhonnell wres ac wyneb y wafer. Mae ei nodweddion arwyneb di-weddillion, gronynnau isel yn lleihau risgiau halogiad yn ystod cylchred thermol estynedig, gan amddiffyn waferi rhag pyllau, ffurfio gronynnau, neu halogiad cefn. O'i gymharu â chynulliadau cymorth confensiynol sy'n seiliedig ar graffit, mae dyluniad cotio SiC Semixlab yn ymestyn oes gwasanaeth yn sylweddol, yn lleihau amser segur ar gyfer glanhau ac adnewyddu, ac yn darparu costau is ar gyfer llinellau cynhyrchu cyfaint uchel.

Mae pob Susceptor Planedau wedi'i orchuddio â SiC Semixlab yn cael ei gynhyrchu gan ddefnyddio swbstradau graffit purdeb uchel a thechnoleg dyddodiad cotio SiC CVD uwch i sicrhau cryfder adlyniad cotio, unffurfiaeth trwch, a gwrthwynebiad i sioc thermol. Mae'r cynnyrch yn cynnig dimensiynau a chyfluniadau y gellir eu haddasu i ddarparu ar gyfer llwyfannau epitacsial blaenllaw a ddefnyddir mewn gweithgynhyrchu offer lled-ddargludyddion prif ffrwd. Mae gwasanaethau technegol Semixlab yn cwmpasu gwerthuso perfformiad cotio, ymgynghori ar gydnawsedd siambr, a rheoli cylch bywyd, wedi'u cynllunio i helpu ffatrïoedd i ehangu capasiti, cynnal cynnyrch, a gwella cylchoedd cynhyrchu offer. Edrychwn ymlaen yn fawr at eich ymholiadau pellach.