Graffit mandyllog

Defnyddir graffit mandyllog yn bennaf ym mhroses twf crisial sengl silicon carbide (SiC) PVT (trosglwyddo anwedd corfforol), dyma ddeunydd craidd system maes thermol tymheredd uchel. Mae'r cynnyrch wedi'i wneud o graffit isostatig purdeb uwch-uchel, sy'n ffurfio strwythur mandyllog unffurf a rheoladwy trwy beiriannu CNC manwl gywir a thechnoleg rheoli mandyllau, gan sicrhau perfformiad rhagorol o dan amodau proses eithafol (2200 ℃). Mae ei ddyluniad unigryw yn gwella unffurfiaeth maes thermol yn sylweddol ac yn optimeiddio effeithlonrwydd trosglwyddo cyfnod nwy, sy'n warant allweddol ar gyfer twf crisial SiC o ansawdd uchel.

Nodweddion craidd a manteision proses:

Purdeb eithafol a chyfradd diffyg isel

Defnyddir y broses buro tymheredd uchel gwactod (triniaeth 3000℃) i leihau cynnwys amhureddau anfetelaidd fel ocsigen a nitrogen ymhellach. Dileu diffygion crisial a achosir gan amhuredd (megis microtubules, dadleoliadau) i sicrhau cysondeb perfformiad trydanol crisialau sengl SiC.

Sefydlogrwydd tymheredd uwch-uchel a rheolaeth maes thermol

Mewn amgylchedd argon/gwactod, gall wrthsefyll gweithrediad parhaus o 2200 ℃ am fwy na 1000 awr, cyfernod ehangu thermol isel, ac osgoi cracio deunydd a achosir gan straen thermol.

Mae'r mandylledd yn cefnogi dyluniad dosbarthiad graddiant, ynghyd ag efelychiad CFD i optimeiddio maint y mandwll (10-200μm), rheoleiddio'r dosbarthiad maes thermol yn gywir, lleihau'r amrywiad graddiant tymheredd (o fewn ±3 ℃), a gwella unffurfiaeth twf crisialau.

Datrysiadau wedi'u haddasu

Addasiad geometrig: Cefnogi prosesu siâp cymhleth (megis croeslin cylchog, tarian aml-haen), gan gyfateb strwythur ffwrnais cwsmeriaid.

Triniaeth arwyneb: Darparu gwasanaethau caboli neu orchuddio manwl iawn i wella ymwrthedd i gyrydiad a bywyd gwasanaeth.

Gwirio perfformiad y cais

Yn y broses grisialu SiC PVT, fel croeslin a chydran maes thermol:

Cynyddu cyfradd twf crisial 15%-20% (o'i gymharu â graffit traddodiadol);

Cynyddodd cynnyrch y wafer i fwy na 90% (grisial sengl SiC 4 modfedd);

Mae cyfnod cynnal a chadw'r offer yn cael ei ymestyn i 6 mis (y 3 mis arferol).

Manylion Cyflym:

1. Enwau eraill: crucible graffit PVT, twf silicon carbide gyda graffit mandyllog.

2. Cymhwysiad: dull PVT (dull cludo nwy ffisegol) cydran maes thermol craidd twf grisial sengl SiC.

3. Paramedrau craidd: purdeb ≥99.9995%, mandylledd 15-30%, ymwrthedd tymheredd 2200 ℃ (amgylchedd nwy anadweithiol), dargludedd thermol 100-150 W/m·K.

Cynulliad ffwrnais twf PVT: Fel rhan o dyrchafu deunydd SiC a thwf crisialau, mae'n darparu dosbarthiad maes thermol sefydlog.

Cydran cysgodi maes thermol: mae strwythur mandyllog yn lleihau straen thermol yn effeithiol ac yn ymestyn oes gwasanaeth yr offer.

Braced grisial hadau: cryfder mecanyddol uchel i gynnal y grisial hadau, er mwyn sicrhau twf cyfeiriadol y grisial.

Haen trylediad nwy: optimeiddio effeithlonrwydd trosglwyddo cyfnod nwy, gwella ansawdd grisial sengl a chyfradd twf.

Perfformiad tymheredd uwch-uchel: dim anffurfiad meddalu ar 2200 ℃, gan gefnogi mwy na 1000 awr o weithrediad sefydlog parhaus.

Dyluniad maes thermol personol: Wedi'i gyfuno ag efelychiad CFD i optimeiddio graddiant mandwll, gwella unffurfiaeth a chynnyrch crisial.

Gwasanaeth iteriad cyflym: darparu prawf paru paramedr proses a chyflwyno datrysiad prototeip o fewn 72 awr.