Cylch Cysgod Cwarts 200mm

Mae Cylch Darian Cwarts AMAT 0200-10445 (200 mm) yn gydran rheoli ymyl cwarts purdeb uchel a gynlluniwyd yn benodol ar gyfer systemau ysgythru plasma. Mae'n dod o dan y categori cylchoedd tarian, sy'n hanfodol ar gyfer rheoli rhyngweithio plasma ar ymylon y wafer yn ystod prosesu lled-ddargludyddion.

Wedi'i gynhyrchu o gwarts wedi'i asio purdeb uwch-uchel, mae'r gydran hon wedi'i pheiriannu i weithredu o dan amodau proses eithafol, gan gynnwys:

● Amgylcheddau plasma ynni uchel

● Cemegau adweithiol sy'n seiliedig ar fflworin a chlorin

● Cylchu thermol dro ar ôl tro

Yn wahanol i gydrannau amddiffynnol safonol, mae'r cylch cysgod yn rhan hanfodol o ran proses sy'n dylanwadu'n uniongyrchol ar broffil ysgythru, unffurfiaeth, a rheolaeth dimensiwn critigol (CD).

Yn Semixlab Technology, mae ein modrwyau cysgod cwarts yn cael eu cynhyrchu gan ddefnyddio'r prosesau canlynol:

● Dewis deunydd crai llym i sicrhau halogiad isel

● Peiriannu manwl iawn i sicrhau cysondeb geometrig

● Triniaeth arwyneb wedi'i optimeiddio i leihau cynhyrchu gronynnau

Mae hyn yn sicrhau perfformiad sefydlog ac ailadroddadwy mewn prosesau ysgythru uwch.

Moddau Methiant Cyffredin

Fel cydran traul sy'n agored i amgylcheddau plasma llym, mae cylchoedd cysgod cwarts yn destun y mecanweithiau diraddio canlynol:

1. Erydiad a Achosir gan Plasma

● Mae bomio ïonau parhaus yn arwain at arwhau'r wyneb

● Mae colli deunydd yn raddol yn newid geometregau hanfodol

Effaith:

Dirywiad perfformiad rheoli ymylon, gan arwain at wyriadau dimensiwn critigol (CD) ac ansefydlogrwydd proffil.

2. Dyddodiad Polymer a Sgil-gynnyrch

● Mae sgil-gynhyrchion proses yn cronni ar wyneb cwarts

● Gall dyddodion naddu i ffwrdd yn ystod y llawdriniaeth

Effaith:

Mwy o halogiad gronynnau a dwysedd diffygion ar wafferi.

3. Cracio Straen Thermol

● Mae cylchoedd gwresogi ac oeri dro ar ôl tro yn creu straen mewnol

● Gall micrograciau ymledu, gan arwain at fethiant strwythurol

Effaith:

Toriadau annisgwyl ac amser segur offer.

4. Cynhyrchu Gronynnau Oherwydd Heneiddio Deunyddiau

● Mae amlygiad hirdymor i plasma yn peryglu cyfanrwydd y cwarts

● Mae micrograciau'n rhyddhau gronynnau i'r siambr

Effaith:

Cynnyrch llai a dibynadwyedd dyfais llai.

Pam Dewis Semixlab?

Gyda phrofiad dwfn mewn deunyddiau lled-ddargludyddion a chydrannau prosesau, mae Semixlab Technology yn cynnig rhannau newydd perfformiad uchel sy'n bodloni neu'n rhagori ar safonau OEM:

● Cwarts purdeb uwch-uchel ar gyfer prosesau sy'n sensitif i halogiad

● Geometregau wedi'u peiriannu'n fanwl gywir ar gyfer rheolaeth ymyl union

● Bywyd gwasanaeth estynedig a chost perchnogaeth is (CoO)

● Dyluniadau sy'n gydnaws ag OEM sy'n integreiddio'n ddi-dor â llwyfannau AMAT

Mae ffatrïoedd lled-ddargludyddion yn ymddiried yn ein modrwyau cysgod cwarts, gan gefnogi gweithgynhyrchwyr sy'n chwilio am ddewisiadau amgen dibynadwy, cost-effeithiol a pherfformiad uchel ar gyfer cymwysiadau ysgythru plasma.

Lleoliad a Swyddogaethau'r Offer

Lleoliad Gosod

Fel arfer, mae modrwyau cysgod cwarts yn cael eu gosod:

● O amgylch rhanbarth ymyl y wafer

● Uwchben neu ger y chuck electrostatig (ESC)

● O fewn rhanbarth gwain plasma'r siambr ysgythru

Mae'n gweithio ar y cyd â chydrannau ymyl eraill (megis cylchoedd ffocws a chylchoedd gorchudd) i ffurfio system rheoli ymyl gyflawn.

Swyddogaethau Craidd

1. Cysgodi Plasma a Rheoli Dosbarthu Ionau

Prif swyddogaeth y cylch tarian yw creu “effaith amddiffynnol”:

● Blocio neu addasu amlygiad plasma yn ddetholus ar ymyl y wafer

● Addasu onglau digwyddiad ïonau a dosbarthiad ïonau

Canlyniadau:

Rheolaeth proffil ysgythru gwell, gan gynnwys onglau ochr a ffyddlondeb nodweddion.

2. Optimeiddio Unffurfiaeth Ymyl

Drwy ei geometreg wedi'i pheiriannu'n fanwl gywir (uchder, bwlch, a phroffil), gall y cylch cysgod:

● Lleihau effeithiau gor-ysgythru ymyl ac effeithiau micro-lwyth

● Gwella unffurfiaeth cyfradd ysgythru ar draws y wafer

Effaith:

Yn gwella cysondeb dimensiwn critigol (CD) ac yn gwella cynnyrch ymyl wafer.

3. Sefydlogrwydd a Ailadroddadwyedd Proses

Mae'r gydran hon yn sefydlogi ymddygiad plasma yn rhanbarth yr ymyl drwy:

● Cynnal amodau gwain plasma cyson

● Lleihau drifft proses yn ystod rhediadau cynhyrchu estynedig

Budd-daliadau:

Yn gwella sefydlogrwydd ffenestr proses ac ailadroddadwyedd mewn cynhyrchu cyfaint uchel.

4. Rheoli Halogiad a Sgil-gynhyrchion

Mae'r cylch cysgod hefyd yn helpu i:

● Cyfyngu ar ardaloedd dyddodiad diangen

● Rheoli dosbarthiad polymerau a sgil-gynhyrchion

Mae hyn yn lleihau'r risg o ronynnau ac yn cyfrannu at weithrediad siambr glanach.