Profi Cryfder Gludiant Gorchudd TaC CVD a Risgiau Pilio

Ar gyfer haenau arbennig ar y graffit, CVD TaC ac Gorchudd CVD sic rhannau o beiriannau gwneud sglodion tymheredd uchel, perfformiad bondio'r haen i'r rhan yw'r pwysicaf ar oes y rhannau. Mae bond gwan yn achosi craciau bach a phlicio mewn prosesau gwresogi ac oeri, gan gynhyrchu halogion neu amddiffyniad anwastad a methiant y broses. Mae llawer o rannau'n edrych yn dda ar y dechrau yn y ffatri ac mae'r ymyl yn pilio i ffwrdd ar ôl eu defnyddio sawl gwaith. Felly, dylid profi cryfder y bond cyn defnyddio'r rhannau yn y ffatri er mwyn osgoi methiant annisgwyl yn y peiriannau.

Profion Gludiant Safonol ar gyfer Gorchudd TaC CVD ar Swbstradau Graffit

I ddarganfod y cryfder cymharol, cynhelir nifer o brofion ansoddol mewn ffatrïoedd; yn gyntaf mae'r prawf crafu. Yma, tynnir blaen diemwnt dros yr haen o dan rym cynyddol, os yw'r ffilm yn cracio, yn naddu neu'n dad-fondio o'r haen graffit yn gynamserol mae'n dangos adlyniad gwael. Mae hwn yn brawf syml ond mae'n dangos canlyniadau clir cyn i rannau ddechrau gwasanaethu.

Prawf cyflym arall yw'r prawf tâp lle mae tâp gludiog yn cael ei roi ar y ffilm ac yna'n cael ei dynnu i ffwrdd; os daw naddion i ffwrdd gyda'r tâp, gall y bond â'r sylfaen graffit fod yn wan. Prawf rhagarweiniol cyflym a ddefnyddir mewn labordai cyn profion mwy trylwyr yw hwn.

Mae gwresogi ac oeri dro ar ôl tro hefyd yn hynod boblogaidd, oherwydd bod y broses yn dynwared proses gymhwysiad go iawn yn berffaith. Nid yw haenau caled yn dangos unrhyw effeithiau andwyol, tra bod haenau gwannach yn dechrau naddu neu blicio ar yr ymyl. Mewn un sefyllfa ffatri, methodd yr haenau ar yr ail wiriad ar ôl cael eu gwresogi dro ar ôl tro (gan blicio ar yr ymylon) er bod hyn oherwydd halogiad y swbstrad cyn ei gymhwyso.

Prawf tynnu i ffwrdd (lle mae styden yn cael ei gludo i'r haen ac yna'n cael ei dynnu nes bod y swbstrad yn tynnu i ffwrdd oddi wrtho) yw'r prawf arall, sy'n rhoi gwerth ar gontinwwm, yn dda ar gyfer cymharu sypiau ond gall gymryd cryn dipyn o amser i'w berfformio. Defnyddir prawf mewnoliad fel prawf gweledol a meintiol, lle mae pwynt caled yn cael ei yrru i'r haen a mesurir maint ffurfio crac. Os cânt eu perfformio'n gywir gyda'i gilydd, mae'r profion hyn yn sicrhau cyfanrwydd haen da.

Arwyddion Rhybudd Cynnar o Blicio Gorchudd TaC mewn Cymwysiadau Epitacsi

Ychydig iawn o achosion sydd gan y mathau hyn o beiriannau lle mae dadlaminiad yr haen yn digwydd yn annisgwyl. Y rhan fwyaf o'r amser mae ychydig bach o newid yn digwydd yn y rhan, sy'n mynd heb i neb sylwi arno. Mae newid lliw'r haen yn ymddangos yn eithaf cynnar. Dylai haen newydd ymddangos yn wastad ac yn llyfn ond o dan straen mae rhyw ran yn ymddangos yn ddiflas o ran lliw, yn enwedig ar hyd ymylon, corneli ac ardaloedd â gwres uchel.

Yn aml mae codi ymyl bach iawn hefyd sy'n ymddangos fel haen o orchudd yn sefyll ar y ffiniau os edrychir arno yn y golau ar yr ongl gywir a/neu ar chwyddiad uwch. Mewn un llinell ffatri sylwodd gweithiwr glanhau ar ronynnau llwch mân wrth ymyl y rhan, a chanfod bod naddion eisoes yn dechrau ar yr ymyl.

Mae craciau llinell wallt hefyd yn dynodi trafferth. Mae'r craciau cychwynnol yn fân ac arwynebol ac yn ymddangos mewn parthau o straen gwres, gan gysylltu yn y pen draw i ffurfio rhanbarthau mwy o asglodion os na chaiff y crac ei atgyweirio. Mae dangosyddion cynnil eraill yn cynnwys lefelau uwch o ronynnau neu lwch y tu mewn i'r siambr.

Er nad oes unrhyw ddiffyg amlwg i'w weld ar y cotio, gall gronynnau asgloddio oddi ar y cotio yn ystod y llawdriniaeth a gellir eu gweld ar fonitorau cyn methiant trychinebus. Gall garwedd gynyddu, wrth i orchudd a fu unwaith yn llyfn ddatblygu ymddangosiad graenog oherwydd dirywiad haen uchaf y cotio.

Gan y gall nam bach ar yr ymyl ddatblygu’n fethiant mwy sy’n peryglu ansawdd ac yn golygu bod angen amser segur ar y peiriant, mae nodi’r dangosyddion cynnar hyn yn bwysig.

Effeithiau Beicio Thermol ar Rannau Epitacsial wedi'u Gorchuddio â TaC CVD

Gan fod cydrannau wedi'u gorchuddio yn cael eu cynhesu a'u hoeri dro ar ôl tro yn ystod y dydd, mae straen cryf iawn yn datblygu ar yr haen dros amser. Pan fydd y cydrannau'n cael eu cynhesu, mae'r haen a'r graffit yn ehangu, ond ar wahanol gyfraddau. Felly, mae pob cylch gwresogi yn datblygu straen rhwng y ddau ddeunydd ar y rhyngwyneb. Pan fydd y gydran yn oeri, mae'r straen yn troi'r ffordd arall. Ni fydd un cylch gwresogi ac oeri yn achosi unrhyw ddifrod, fodd bynnag, yn ystod cannoedd o gylchoedd o'r fath mae straen mewnol bach yn datblygu.

Byddai'r haen yn gymharol llyfn a sefydlog, ond ar ôl cylchoedd dro ar ôl tro o newidiadau tymheredd, byddai ardaloedd straen bach yn datblygu ar yr ymylon mwyaf miniog neu wresogi anwastad. Byddai canol y gydran yn aros am amser hir, byddai tu allan y gydran yn gwisgo allan mewn offer gwirioneddol. Mae crac bach ar ymyl y cydrannau yn enghraifft gyffredin, ar ôl defnydd niferus byddai'n datblygu ar yr ymyl ac yn dechrau tyfu wrth i straen ei orfodi ar wahân ar ôl pob cylch gwres a byddai naddion bach yn pilio i ffwrdd.

Gyda gwresogi ac oeri dro ar ôl tro mae matrics mewnol y cotio yn gwisgo allan, fel mai ychydig o gydrannau fyddai'n pasio'r prawf cychwynnol, fodd bynnag ar ôl defnydd hirfaith (nifer o fisoedd) byddent yn dal i fod yn dueddol o gael eu difrodi. Mewn un achos, mae rhannau wedi dechrau pilio i ffwrdd ar ôl ychydig gannoedd o gylchoedd oherwydd gwresogi cyflym gan greu straen eithriadol o fawr yn hytrach na'r gwresogi araf.

Dulliau Rhagdriniaeth Arwyneb i Wella Cryfder Bondio Gorchudd

Mae paratoi sylweddol y mae'n rhaid ei wneud ar rannau graffit cyn rhoi unrhyw fath o orchudd fel bod yr haen yn bondio. Bydd paratoi gwael ar orchudd da yn arwain at orchudd sy'n methu'n rhy fuan. Mae glanhau rhan graffit yn ddwfn yn un agwedd ar y paratoad hwn. Mae graffit yn dal llwch mân iawn, olewau gweddilliol, neu ronynnau peiriannu yn hawdd o fewn ei mandyllau. Mae'r eitemau hyn yn atal yr orchudd rhag dod i gysylltiad uniongyrchol â'r sylfaen yn gorfforol.

Bydd hyd yn oed ffilm ficrosgopig o olew yn creu parthau gwan yn y bond, a fydd yn dod yn safleoedd i'r pilio ddechrau. Fel arfer, defnyddir toddiannau glanhau pwrpasol neu weithiau caiff y rhan ei phobi mewn ffwrnais i gael gwared ar unrhyw weddillion sydd wedi'u gwreiddio'n ddwfn.

Nesaf yw sicrhau bod yr wyneb wedi'i wneud ychydig yn arw i gynyddu'r gafael effeithiol y bydd gan y cotio nag y byddai pe bai'r wyneb yn berffaith llyfn. Yn gyffredinol, cyflawnir hyn trwy chwythu tywod neu drin offer peiriant i gyflawni arwyneb gafael garw ond cymharol sefydlog i'r cotio "bachu" iddo'n fecanyddol, neu drwy ddefnyddio triniaethau plasma sy'n peledu'r wyneb graffit dros dro â nwy i'w actifadu a'i ragdueddu'n gemegol i fod yn gydnaws â deunyddiau cotio heb gael unrhyw effeithiau andwyol ar siâp y swbstrad.

Defnyddir triniaethau gwres ar rannau graffit cyn eu cotio, gan y gall pobi rhan ar dymheredd uchel yrru nwyon sydd wedi'u dal o fewn y deunydd allan. Gallai'r nwyon hyn ddianc o bosibl tra bod cotio yn cael ei ddyddodi, gan greu'r safle delfrydol ar gyfer man gwan neu bothell o dan y cotio. Yn gyffredinol, cyfunir y prosesau hyn.

Dadansoddiad Methiant o Fodrwyau wedi'u Gorchuddio â TaC a Ddefnyddir mewn Systemau LPE (ASM)

Mae modrwyau graffit wedi'u gorchuddio yn gweithio o dan amodau eithafol gan gynnwys tymheredd uchel, llif nwy uchel, a chylchoedd thermol. Mae mecanweithiau methiant modrwyau graffit wedi'u gorchuddio yn fwyaf aml yn gysylltiedig â straen cotio, ansawdd arwyneb a blinder thermol.

Dadelmineiddio ymyl lle mae cotio yn tueddu i ddadelmineiddio o ymylon ymylon miniog ac adrannau tenau wrth iddynt gael eu hoeri a'u gwresogi'n gyflymach o'i gymharu â rhannau swmp. Ar ôl i'r codiad ar yr ymyl gychwyn, mae'r ffenomen hon yn tyfu'n debyg i sip sy'n agor ar hyd yr ymyl.

Gall naddion bach ddigwydd ar yr wyneb mewnol lle mae llif y nwy yn fwy dwys ac yn cynhyrchu mannau poeth yn lleol. Darganfuwyd swp o lwch du mân mewn un system sydd wedi'i gysylltu â'r craciau mân ar wal fewnol y cylch. Mae methiant bondio rhyngwyneb yn fecanwaith sylfaenol arall; priodolir adlyniad gwan o dan yr haen i blicio ardal fawr sydyn fel arfer o arwyneb nad oedd wedi'i lanhau'n iawn neu nwyon sydd wedi'u dal ar y rhyngwyneb sy'n ehangu.

Mae cylchu thermol cyflym, ar y llaw arall, yn creu'r sioc thermol lle gall straen thermol gronni'n gyflym ar y rhyngwyneb cotio/sylfaen. Mewn un broses gynhyrchu dim ond ychydig fisoedd y parhaodd cylch. Er ei fod yn ymddangos yn normal i ddechrau, cynyddodd lefel y gronynnau'n gyson ac ar ôl ei dynnu roedd rhan fawr o'r cotio wedi dadfeilio gerllaw'r pwyntiau atodi.

Deilliodd y methiant hwn o wresogi anwastad a glanhau ymylon gwael cyn cotio. Er bod y methiannau fel arfer yn tyfu o ddiffygion bach dros amser, gall archwiliad rheolaidd a thymheredd gwresogi sefydlog fod yn fesurau ataliol da yn erbyn methiannau o'r math hwn.